De Amerikaanse contractfabrikant Globalfoundries is van plan om eind 2012 een EUV-lithografieproductiemachine te installeren. Massaproductie met extreem ultraviolet start naar verwachting in 2014 of 2015. Dat zei technologietopman Gregg Bartlett tijdens zijn keynote op Semicon West. Het EUV-apparaat wordt geïnstalleerd in Globalfoundries? Fab 8 in het Amerikaanse Malta.
Bartlett vertelde verder dat Globalfoundries ervan heeft afgezien een EUV-preproductietool aan te schaffen. Andere chipconcerns zoals Intel, Samsung, Toshiba en TSMC bestelden al wel zo?n proefmachine bij ASML. ?We hebben…
Winkelmand
